6月13日上交所公告，深圳市恒运昌真空技能股份有限公司（简称“恒运昌”）科创板IPO获受理，公司拟募资15.5亿元。

  招股书显现，恒运昌是国内抢先的半导体设备中心零部件供货商，首要是做等离子体射频电源体系、等离子体激起设备、等离子体直流电源、各种配件的研制、出产、出售及技能服务，并引入真空取得和流体操控等相关的中心零部件，环绕等离子体工艺供给中心零部件全体解决方案。

  据了解，等离子体射频电源体系是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技能壁垒高、研制投入大、研制周期长、出产的“精确仿制”要求极高，因此国产化率极低。依据弗若斯特沙利文计算，2023年中国大陆半导体范畴等离子体射频电源体系的国产化率缺乏7%，归于被“卡脖子”最严峻的环节之一。

  恒运昌聚集于等离子体射频电源体系的技能攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨子MKS和AE长达数十年在国内的独占格式。恒运昌自主研制的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑14纳米先进制程，到达世界抢先水平，填补国内空白。与此同时，国内首要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法向原海外设备供货商收购备件或请求修理服务，恒运昌为此承接了进口等离子体射频电源体系的原位替换及修理的事务。

  恒运昌已具有老练的规模化量产才能，公司产品已量产交给拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜堆积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供货商。到2024年底，恒运昌与上述客户已完成百万级收入的自研产品共30款，完成千万级收入的自研产品共19款。

  依据弗若斯特沙利文计算，2023年中国大陆半导体职业等离子体射频电源体系的商场规模为58.4亿元。中国大陆半导体职业等离子体射频电源体系的商场仍出现海外巨子MKS和AE高度独占的竞赛格式。恒运昌半导体级等离子体射频电源体系于2018年开端研制、2020年下半年开端批量交给，陈述期内已完成大规模收入，产品功能取得商场认可。依据弗若斯特沙利文计算，2023年在中国大陆半导体职业国产等离子体射频电源体系厂商中，恒运昌的商场占有率位列榜首，商场位置抢先。

  成绩方面，2022年至2024年，恒运昌别离完成盈余收入1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元，净利润别离为2638.97万元、8053.58万元和1.43亿元。

  本次IPO，恒运昌拟募资15.5亿元，投入到沈阳半导体射频电源体系产业化建设项目、半导体与真空配备中心零部件智能化出产运营基地项目、研制与前沿技能创新中心项目、营销及技能上的支撑中心项目、弥补流动资金。恒运昌表明，募投项目的施行有利于公司扩展出产规模、加强研制投入、打气客户支撑服务才能和扩大本钱实力，进一步稳固公司在半导体级等离子体射频电源体系范畴的领头羊，并持续助力先进制程半导体设备要害零部件的国产化进程。

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